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¾ç½ÂÁ¶ Áö»ç, ¡°¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É ¼ÒÀç °³¹ß¡¤»ý»ê Ãæ³²ÀÌ ¾ÕÀ塱Ãæ³²µµ, ¡®Æ÷½ºÆ®Äڷγª¡¯ °æÁ¦»ì¸®±â Çຸ·Î EUV¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® »ý»ê °øÀå ã¾Æ ¼ÒÅë

[õ¾È=ÃæûÁ¾ÇսŹ®] ±è¹é¼ö ±âÀÚ = ¾ç½ÂÁ¶ Áö»ç°¡ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¹× CMPÆе堵ݵµÃ¼ ÇٽɼÒÀç »ý»ê±â¾÷ÀΠ‘µàÆùÄÚ¸®¾Æ’ÀÇ ·Ò¿£µåÇϽºÀüÀÚÀç·á Ãµ¾È°øÀåÀ» ¹æ¹®ÇÏ°í ÀÖ´Ù. (»çÁøÁ¦°ø=Ãæ³²µµÃ»)

[³»Æ÷=ÃæûÁ¾ÇսŹ®] ±è¹é¼ö ±âÀÚ = Ãæ³²µµ´Â ¾ç½ÂÁ¶ Áö»ç°¡ 26ÀÏ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¹× CMPÆе堵ݵµÃ¼ ÇٽɼÒÀç »ý»ê±â¾÷ÀΠ‘µàÆùÄÚ¸®¾Æ’ÀÇ ·Ò¿£µåÇϽºÀüÀÚÀç·á Ãµ¾È°øÀåÀ» ¹æ¹®, ¼ÒÅëÀÇ ½Ã°£À» °¡Á³´Ù°í ¹àÇû´Ù.

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¹Ì±¹ÀÇ ±Û·Î¹ú È­ÇмÒÀç ±â¾÷ µàÆù(DuPont)Àº Áö³­ÇØ ¹ÝµµÃ¼ Çٽɠ¼ÒÀçÀΠ‘±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®’ »ý»ê °øÀåÀ» Ãµ¾È¿¡ °Ç¼³Çϱâ·Î ÇÏ°í ÇöÀç »ý»ê °øÀå ¹× ¼³ºñ µî¿¡ ÅõÀÚ¸¦ ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù. ÅõÀÚ ±Ô¸ð´Â 2021³â±îÁö ÃÑ 2800¸¸ ´Þ·¯(¾à 328¾ï¿ø)´Ù.

EUV¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â Áö³­ÇØ ÀϺ»ÀÌ Çѱ¹À¸·ÎÀÇ ¼öÃâÀ» ÅëÁ¦ÇÑ 3´ë Ç°¸ñ Áß Çϳª·Î ¹ÝµµÃ¼ Ãʹ̼¼ °øÁ¤¿¡ ¾²À̴ Çٽɠ¼ÒÀç´Ù.

ÀÌ ¼ÒÀç´Â ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ(¿þÀÌÆÛ) À§¿¡ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇϴ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ¸ç ÆÄÀåÀ̠ª¾Æ ¹Ì¼¼È­ °øÁ¤¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù.

ÇöÀç EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ½ÃÀåÀº JSR·½Å¿¡¾²·µµÄì¿ÀÄ«°ø¾÷(TOK) µî ÀϺ» ±â¾÷ÀÌ ¼¼°è½ÃÀåÀÇ 90% ÀÌ»óÀ» Á¡À¯ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

±×¸¸Å­ ¿ì¸®³ª¶ó´Â ÀϺ»¿¡ ´ëÇÑ ÀÇÁ¸µµ°¡ ³ô¾Ò´Ù.

±¹³»¿¡¼­µµ ºÒÈ­Å©¸³Åæ(KrF), ºÒÈ­¾Æ¸£°ï(ArF) µî ´Ù¸¥ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ÀϺΠ»ý»êÀÌ °¡´ÉÇÏÁö¸¸ ÆÄÀåÀÌ °¢°¢ 248³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬)¿Í 198§¬·Î ±æ¾î EUV¿ë(13.5§¬)º¸´Ù ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡ ÀûÇÕÇÏÁö ¸øÇÑ ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.

ȸ»ç °ü°èÀڴ “±×µ¿¾È µµÀÇ ÀüÆøÀûÀΠÁö¿øÀ¸·Î µàÆùÄÚ¸®¾Æ°¡ Ãæ³²¿¡ ÀÚ¸® ÀâÀ» ¼ö ÀÖ¾ú´Ù”¸ç “ÇöÀç ÅõÀÚ ÁßÀΠEUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®µµ ´Ù¸¥ ³ª¶ó¿¡ ´çÃÊ ÅõÀÚ¿¹Á¤À̾úÀ¸³ª µµÀÇ Àû±Ø Áö¿øÀ¸·Î °á±¹ Çѱ¹ Ãµ¾ÈÀ¸·Î ÀÔÁö¸¦ °áÁ¤Çß´Ù. ÇâÈÄ Ãß°¡ÅõÀÚ ½Ã¿¡µµ µµÀÇ º¯ÇÔ¾ø´Â Áö¿øÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.”°í °ÇÀÇÇß´Ù.

ÀÌ¿¡ ¾ç Áö»ç´Â “µàÆùÄÚ¸®¾Æ´Â Ãµ¾È¿¡ 3°³ °øÀåÀÌ °¡µ¿ ÁßÀÌ°í Á÷¿øÀÌ 320¿©¸í¿¡ ´ÞÇϴ Áö¿ªÀÇ °¡Àå Áß¿äÇÑ ±â¾÷ Áß ÇϳªÀÌ´Ù”¶ó¸ç “Äڷγª19 ±Øº¹Àº ¹°·Ð ¹ÝµµÃ¼·¼ÒÀç·ºÎÇ° °ü·Ã Ãß°¡ ÅõÀÚ ½Ã ´õ¿í Áö¿øÀ» ¾Æ³¢Áö ¾Ê°Ú´Ù.”°í ¸»Çß´Ù.

¾ç½ÂÁ¶ Áö»ç´Â ÀçÀÛ³â 11¿ù°ú ÀÛ³â 4¿ù ¹Ì±¹ º»»ç¸¦ ¹æ¹®, 1¾ï500¸¸ ´Þ·¯ ¿ÜÀÚÀ¯Ä¡ MOU¸¦ Ã¼°áÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù°í ¹àÇû´Ù.

±è¹é¼ö ±âÀÚ  bsk7294@naver.com

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